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新聞詳情

氣體流量控制器:基于層流壓差原理的專業(yè)解析

來源:上海自動化儀表作者:上海自動化儀表網(wǎng)址:http://m.runkuan.com.cn

上海自動化儀表氣體流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)是一種用于控制氣體流量的關鍵設備,廣泛應用于半導體制造、化學工藝、生物醫(yī)藥以及環(huán)保等領域。其工作原理和性能表現(xiàn)直接決定了相關工藝的效率與質(zhì)量。


易度智能作為國內(nèi)完全國產(chǎn)自研的MFC制造商,以其技術和產(chǎn)品性能成為行業(yè)。小編從專業(yè)視角詳細解析基于層流壓差原理的MFC核心技術、工作機制及易度智能MFC的產(chǎn)品優(yōu)點。


1. 層流的基本特性


層流是氣體在低雷諾數(shù)條件下的穩(wěn)定流動狀態(tài),在層流狀態(tài)下,氣體的流量與壓差成正比。這一特性為層流壓差式氣體流量控制器的設計提供了理論基礎。



2. 壓差式測量的實現(xiàn)


層流壓差式MFC通過以下關鍵組件實現(xiàn)流量測量:


層流元件:機械結構確保氣體在通過時保持層流狀態(tài)。


壓差傳感器:自研高靈敏傳感器實時測量層流元件兩端的壓差值。


計算方式:測量出壓差后就可以根據(jù)標定數(shù)據(jù)獲得工況流量和質(zhì)量流量。


易度智能層流質(zhì)量流量計及控制器的核心優(yōu)勢


3. 完全國產(chǎn)自研


易度智能是國內(nèi)獲得層流壓差式CPA資質(zhì)批準證書的企業(yè),并且是全球二家有能力生產(chǎn)通用型層流質(zhì)量流量計的制造商。其產(chǎn)品填補了國內(nèi)市場的技術空白,具備完全平替進口設備的能力。



4. 高精度與高穩(wěn)定性


量程范圍廣:高精型產(chǎn)品覆蓋0.1sccm至5000slpm的量程需求,適應多樣化的工況場景。


測控精度:高精型產(chǎn)品測量誤差控制在±0.5%讀數(shù)精度以內(nèi),重復性達到±0.1%,在行業(yè)中處于水平。


溫度壓力補償:內(nèi)置溫度傳感器和壓力傳感器,通過實時修正,保證不同環(huán)境條件下的測量。


5. 嚴苛的質(zhì)量保障


核心部件自主研發(fā):所有關鍵組件均為自主設計與制造,確保質(zhì)量可控,可根據(jù)需求靈活定制產(chǎn)品。


疲勞與耐久測試:每款產(chǎn)品需通過數(shù)千萬次疲勞測試,確保長期穩(wěn)定運行。


廣泛氣體兼容性:內(nèi)置70+種氣體及混合氣體數(shù)據(jù)庫,用戶可根據(jù)工藝需求快速適配多種氣體,開機即測,無需轉(zhuǎn)換系數(shù)。


上海自動化儀表基于層流壓差原理的氣體流量控制器以其高精度、快速響應和可靠性在工業(yè)領域中占據(jù)重要地位。易度智能作為行業(yè)領軍者,以完全國產(chǎn)自研、全球技術和高可靠性產(chǎn)品,為更多行業(yè)提供了可靠的解決方案。


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